CVD氣相沉積爐

化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用領(lǐng)域

化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理。

化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

產(chǎn)品型號(hào)/規(guī)格W×H×L(mm)	600*600*1000	800*800*1200	1000*1000*1500	1200*1200*2500	1500*1500*3000	2500*2000*3600
裝載重量(KG)	350	800	1500	2500	5000	10000
最高溫度(℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
溫度均勻性(℃)	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10	±15
加熱功率(kw)	250	360	480	600	900	1200
極限真空度(Pa)	20	20	20	20	20	20
壓升率(Pa/h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
以上化學(xué)氣相沉積爐參數(shù)可以根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

化學(xué)氣相沉積爐主要配置

爐門(mén)：絲杠升降//液壓升降/手動(dòng)升降；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊

爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：軟碳?xì)?FONT face=宋體>/軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC

加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)；手動(dòng)閥/自動(dòng)閥；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)

真空泵和真空計(jì)---進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)

PLC：歐姆龍/西門(mén)子

控溫儀表：日本島電/英國(guó)歐陸

熱電偶：C分度號(hào)/S分度號(hào)/K分度號(hào)/N分度號(hào)

記錄儀：無(wú)紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)

人機(jī)界面：模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)

電器元件：正泰/施耐德/西門(mén)子

料車(chē)：滾道式/叉車(chē)式/疊加式超長(zhǎng)傳輸料車(chē)

化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)特征

本化學(xué)氣相沉積爐最大工作區(qū)尺寸可達(dá)2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求；

本化學(xué)氣相沉積爐采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；

本化學(xué)氣相沉積爐采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

本化學(xué)氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；

本化學(xué)氣相沉積爐對(duì)炭沉積過(guò)程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理。